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更新時間:2022-09-29
點擊次數(shù):3206
環(huán)形激光陀螺儀組件或某些科學(xué)應(yīng)用中的所謂超級鏡需要具有極低損耗(即吸收和散射)的鍍膜光學(xué)元件。這些反射鏡還具有 R > 99.998% 和總損耗 < 10 ppm 的最大反射率。
筱曉使用德國改進的 IBS 機器,能夠在超拋光基材上生產(chǎn)涂層。機器和環(huán)境的清潔度在專用的超凈室中保持,并在此進行廣泛的基材預(yù)處理和后處理。
用于檢查程序的測量設(shè)備,例如白光輪廓儀和高分辨率顯微鏡(高達(dá) x 1000)已經(jīng)到位。定制的腔衰蕩設(shè)置允許以最多四位小數(shù)的精度確定反射并參考損耗。
位于耶拿的弗勞恩霍夫應(yīng)用光學(xué)和精密工程研究所測量了我們當(dāng)前生產(chǎn)的 633 nm 超級鏡的總背散射(TSB,如 ISO 13696 中所述),并達(dá)到了 TSB = 1.1 ppm 的值。 < 15 ppm 的典型吸收和剩余透射率合計相當(dāng)于至少 99.998% 的反射率。對于更長的波長,甚至可以達(dá)到 99.999%,這非常接近 R = 100% 的激光鏡。
結(jié)果已通過我們的內(nèi)部腔衰蕩設(shè)置和散射測量得到證實。對于上述值,使用表面粗糙度 < 1 ? rms 的超拋光基板是不可少的。用白光輪廓儀檢查它們的質(zhì)量。下面是一些測量值:
Scatter TSB | Absorption | Reflection CRD | |
HR 532 nm?/?0° | 4.9 ppm1) (int. ARS) | 10.2 ppm 2) | > 99.997% 2) (T~5 ppm) |
HR 633 nm?/?0° | 1.1 ppm 1) | > 99.998% (T~5 ppm) | |
HR 1064 nm?/?0° | (< 1 ppm) 3) | < 2 ppm 4) | > 99.999% (T~5 ppm) |
HR 2940 nm?/?0° | 24 ±12 ppm6) | 99.994% 5) (T=36 ppm) | |
1) Measured at IOF Jena; 2) Measured at LZH; 3) Calculated from surface roughness; 4) Measured at ILT Aachen; 5) measured by customer; 6) 1-R-T
特點
•非常高的反射率(在可見光和近紅外光譜范圍內(nèi)R > 99.99%•R > 99.999% 在1000 – 1600 nm 之間的幾個波長處得到證實)
•中心波長可以定制(起訂量:6片)
•所有用于 CRD 實驗的反射鏡都帶有背面增透膜
•平面和球形彎曲熔融石英基材
•優(yōu)質(zhì)拋光,RMS 粗糙度:≤ 1.5 ?
產(chǎn)品應(yīng)用
● 激光陀螺
●CRD 腔衰蕩系統(tǒng)設(shè)計
● 光通道診斷
參數(shù)
材質(zhì) | 紅外級熔融石英 Infrasil |
形狀 | 圓形 |
直徑(?) | 12.7,25.4 mm ,50.8(-0.1 mm) |
厚度(t) | 6.35 mm (±0.1 mm) |
邊緣厚度 | 6.35 mm |
平行度 | 5? |
| Guaranteed Roughness | Flatness | Availability | |
| Premium | RMS<0.2 nm*(<2?) | <入/20 | ?12.7-25 mm always 2,000 pcs.on stock (various radii and plane) |
| superpolished | RMS<0.1 nm*(<1?) | <入/10 | on request |
* Tested with Zygo NewView 9000 within sample length 3- 1000 um
光學(xué)參數(shù) | 正面(S2) | 光學(xué)參數(shù) | 背面(S1) |
形狀 | 凹面 | 形狀 | 平面 |
曲率半徑 | 1,000 mm (±1 %) | 倒角 | 0.3 mm (±0.1 mm) |
倒角 | 0.3 mm (±0.1 mm) | 測試區(qū) ?e | 20 |
測試區(qū) ?e | 20 | 曲面容差 | 3/0.2(0.2) [L/10 @546.1nm] |
3/-(0.2) [L/10 reg. @546.1nm] | 清潔度 | 5/2x0.04; L1x0.004 | |
清潔度 | 5/2x0.04; L1x0.004 |
我們的測試方案:


相關(guān)測試


圖1測量波長范圍 1250 – 1450 nm 的低損耗反射鏡的反射率和透射率光譜 a) 反射率與波長的關(guān)系b) 透射率與波長的關(guān)系
表 1:低損耗反射鏡的反射率和透射率值;通過腔衰蕩光譜測量的反射率,AOI=0°
直接測量光學(xué)損失


圖 2:1550 nm 的低損耗反射鏡的反射率、透射率和損耗光譜 a) 針對最高反射率進行了優(yōu)化(透射率 ~ 0)b) 設(shè)計用于 T ≈ S + A


圖 3:a) 用于 UV 的各種低損耗反射鏡的反射光譜 b)用于 VIS-NIR 光譜范圍的各種低損耗反射鏡的反射光譜所有測量均在第 33-35 頁所述的 CRD 設(shè)置下進行。請注意,這些鏡子是專門為相對較高的透射率而設(shè)計的。

腔衰蕩時間測量和參考數(shù)據(jù)

使用諧振器長度 L=228mm 測量的具有 R=99,995% 的 450nm 高反射鏡對的示例性單指數(shù) CRD 曲線
超光滑633nm激光陀螺光損耗測試

對于 IBS 上的低損耗涂層,基材表面顯示的典型散射損耗
內(nèi)部測試設(shè)備:



在所有空間頻率上始終保持低粗糙度值 具有不同放大倍率的 Premium 基板的示例性粗糙度測量證明了高質(zhì)量 不管采樣長度是多少。



定制產(chǎn)品提供參數(shù)示例

訂購信息:
CRD- □□□□-☆-▽
□□□□: 尺寸
126: 直徑:12.7X厚度6.35mm
*****
256: 直徑:25.4X厚度6.35mm
508:直徑:50.8X厚度8mm
其他
☆ : 反射率
39:> 99.9%
49:> 99.99%
▽: Operation Wavelength Range
760:760nm
980: 980nm
1064: 1064nm
1512:1512nm
2000:2000nm
2327:2327nm
型號列表
波長 | 基片材料 | 數(shù)量 | 直徑(英寸) | 曲率 | 反射率 | 入射角 | 光楔 | PN # |
2327 | Infrasil 302 | 7 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-126-49-2327 |
2004 | Infrasil 302 | 3 | 1.0" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-246-49-2004 |
2050 | Infrasil 302 | 1 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-126-49-2050 |
1742 | Infrasil 302 | 5 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-126-49-1742 |
1650 | Corning 7980 | 5 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-126-49-1650 |
1600 | Corning 7980 | 9 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-126-49-1600 |
1550 | Corning 7980 | 10 | 0.5" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-126-49-1550 |
1550 | Corning 7980 | 2 | 1.0" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-246-49-1550 |
1512 | Corning 7980 | 2 | 0.5" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-126-49-1512 |
1434 | Infrasil 302 | 1 | 1.0" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-246-49-1434 |
0760 | Corning 7980 | 1 | 0.5" | 1m ROC | >?99.995?% | 0 | None | CRD-126-49-0760 |
0760 | Corning 7980 | 4 | 1.0" | 1m ROC | >?99.995?% | 0 | None | CRD-126-49-0760 |
1392 | Corning 7980 | 1 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | 30? | CRD-126-49-1392 |
0633 | Corning 7980 | 1 | 1.0" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-246-49-0633 |
1064 | Corning 7980 | 1 | 1.0" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-246-49-1064 |